Сообщается о разработке трех конструкций газовых сенсоров на основе пленок SnO2, осажденных реактивным магнетронным напылением в специальной установке "колпак в колпаке" в атмосфере О2+Ar и контролируемо отожженных на воздухе. Контакты к сенсорам и нагреватель-терморезистор предварительно осаждались магнетронным распылением Pt на шероховатую поверхность кварца или слюды. Пленки SnO2 легировались Sb и In и на их поверхность наносилась Pt в качестве катализатора. Показано, что свойства сенсоров в значительной мере определяются как процессом напыления, так и процессом отжига пленок SnO2. Сенсоры обладали высокой чувствительностью к СО, СН4, Н2, спиртам. Рабочая температура сенсоров лежала в интервале 125–250 °С. Исследование временной зависимости реакции сенсоров на указанные газы при импульсном нагреве показало возможность резко увеличить избирательность сенсоров к большинству из указанных газов. Для сенсоров, легированных In, впервые обнаружено возникновение долговременных низкочастотных колебаний сигнала в результате гетерогенных реакций с газами. При этом Фурье-анализ показал отличительные особенности сигналов для каждого газа.

Первой и весьма важной задачей газовой сенсорики является создание пороговых датчиков, реагирующих на превышение допустимого содержания взрывоопасных и вредных для здоровья веществ. Следующей, более сложной задачей, является анализ состава атмосферы или газовых смесей. По сути, речь идет о создании искусственного электронного носа. Требования к идеальному газовому сенсору были сформулированы в свое время Земелем: малая цена, малые размеры, хорошее отношение сигнал/шум, простота и надежность конструкции, обратимость реакции на газы, селективность, нечувствительность к отравлению, быстродействие, совместимость с электроникой, температурная и временная стабильность. Этим требованиям наилучшим образом отвечают сенсоры на основе металлооксидных соединений, среди которых наибольшее внимание привлекает двуокись олова SnO2. Свойство диоксида олова изменять свою проводимость в присутствии в воздухе молекул газов восстановителей и окислителей и лежит в основе их работы. Природа химико-физических процессов, лежащих в основе этого свойства известна и приводится в ряде монографий. В то же время особенности процессов в случае конкретных технологий изготовления, конструкций и методики измерения нельзя считать выясненными.