1. Термовакуумне напиленя

2. (ТВН). В этом методе создается направленный поток пара вещества и затем конденсации его на поверхности подложки, имеющей температуру ниже температуры источника. Распыления ионной бомбардировкою. Этим методом получают пленки с заданными свойствами и есть возможность получения пленки тугоплавких материалов и сплавов, сложных веществ и материалов с низким давлением пара. Различают: катодной (физическое и реактивное), ионно - плазменные, ВЧ и магнитное распыления.
3. Термическое оксидирование производится методом нагрева до высоких температур.

4. Химическое осаждения из парогазовой фазы. Пары соединений (галогенов, гибридов, карбонита) поставляются в камеру установки, где расположены подложки, нагретые до необходимых температур.

5. Электролитическое и плазменные анодирования. Электролитическое анодирования - им получают пленки оксидов на металлах и н / п, процесс происходит в электролитическое ваннах на анодов. Плазменная анодирования - это процесс образования оксидных пленок на подложки. С помощью этого метода получают более толстые, и этот метод хорошо сумищаеться с другими методами получения структур.

6. Осаждения металлов из электролитов и растворов. В основе этого метода лежит явление электролиза, при котором происходит катодной восстановление катионов.